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電子潔凈室（廠房）設(shè)計說明
一、潔凈形式 1、潔凈室按工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等； 2、潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。 3、電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境型式。 二、防火設(shè)計要求 1、電子潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。 2、電子潔凈廠房潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073 的有關(guān)規(guī)定。 三、環(huán)境參數(shù)控制要求 微粒、對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、…
